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高精度光控系统

FilmonitorBS宽光谱监控系统

●光谱范围:380~1000nm,可扩展到200~1100nm(定制)
●监控方式:直控、间控;透射、上反射、下反射
●实时监控:实时测量T/R光谱曲线,同时给出理论光谱曲线及工艺光谱曲线,实时计算色坐标
●镀膜工艺:适用于非规整膜系镀制,并记录镀膜过程并回放,有益于工艺分析和员工培训
●晶控通讯:与SQC310,MDC360,XTC/2协议,实现镀膜半自动或全自动
●膜系保密:为保护厂家利益,系统提供密码保护

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FilmonitorSW单波长全自动监控系统

●监控方式:直控、间控;透射、上反射、下反射
●内嵌膜系设计软件
●应用网络技术,模块化结构,扩展容易
●自动化程度高,波长扫描、狭缝调节、倍增管高压放大器等均由系统自动控制
●专业光路设计,光源利用率高,测量光斑规则、尺寸小

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